PROCESSAMENTO

Spinner

Deposição de fotoresist para o processamento de amostras

Alinhadora de máscaras

Fotogravação

Microssoldadora

Realização de contatos nas amostras previamente processadas

Evaporadora térmica e por feixe de elétrons

Metalização no processamento de amostras

Forno

Tratamentos térmicos até 1000ºC